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真空鍍膜系統

ALD原子層沉積鍍膜系統

應用領域

生物晶片

綠能生醫產業

半導體晶圓製程、

3D IC封裝、

顯示器封裝

功率元件

常用於Al2O3、HfO2、SiO2，及TiO2

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